等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。

工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。

在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室(PRC)。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。

一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。

同時注入環境或者二級氣體來優化反應室的濕度和溫度登記，與此同時加入離子來改善反應室內的反應。這種冷離子體處理方法使有機氣體在低溫下進行“氧化”。